
Octafluoropropane 99,999%
Dans les salles blanches des semi-conducteurs dans le monde, l'octafluoropropane 99,999% est devenu le milieu de gravure du plasma de choix pour les processus de structuration critiques. Ce grade de pureté ultra-élevé maintient des impuretés totales inférieures à 10 ppm, avec des limites spécifiques à l'humidité (<0.5 ppm) and oxygen (<1 ppm) that could otherwise compromise etch uniformity. The transition to extreme ultraviolet (EUV) lithography has made octafluoropropane 99.999% even more indispensable, as even minute contaminants can cause catastrophic defects at the 3nm node and below. What distinguishes octafluoropropane 99.999% is its exceptional process stability, enabling etch rates that are both highly consistent and precisely controllable across entire wafer surfaces. Leading chip manufacturers have developed sophisticated delivery systems that monitor octafluoropropane 99.999% purity in real-time, automatically adjusting flow parameters to maintain optimal process conditions. This relentless pursuit of perfection in gas quality reflects the compound's pivotal role in enabling continued advances in semiconductor technology.
Caractéristiques
Gaz incolore et non inflammable. L'inhalation de concentrations élevées de ce gaz a un effet anesthésique. Il appartient à la catégorie du gaz à faible toxicité.
But
Dans l'industrie des semi-conducteurs, un mélange d'octafluoropropane et d'oxygène est utilisé comme matériau de gravure de plasma et interagit sélectivement avec la matrice métallique des tranches de silicium. En médecine, l'octafluoropropane peut former le gaz des agents de contraste à ultrasons et est utilisé dans l'imagerie échographique améliorée à contraste. Les microbulles octafluoropropane peuvent refléter efficacement les ondes acoustiques et être utilisées pour améliorer la rétrodiffusion des signaux ultrasoniques. Dans R -218, l'octafluoropropane peut être utilisé comme l'un des composants des mélanges de réfrigération dans d'autres industries.
Stockage
Conserver dans un entrepôt cool et bien ventilé dédié aux gaz non inflammables. La température dans l'entrepôt ne doit pas dépasser 30 degrés. Éloignez-vous des sources d'incendie et des sources de chaleur. Il doit être stocké séparément des oxydants et ne doit pas être mélangé. La zone de stockage doit être équipée d'un équipement de manutention d'urgence pour les fuites.
Transport
Le transport des produits doit être conforme aux dispositions pertinentes des «Règlements sur la supervision de la sécurité des cylindres à gaz».
Conditionnement
Il doit être rempli en cylindres à gaz à haute pression propres et secs spécialement traités. Les volumes de cylindre sont généralement 40L, 12,5 L, 10L, 8L, 4L, etc. Divers volumes peuvent également être sélectionnés en fonction des besoins de l'utilisateur.
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