Les exigences de contrôle de la pollution par les gaz électroniques deviennent de plus en plus strictes

Avec la mise à niveau des produits de consommation électroniques, la taille des produits augmente de plus en plus, et le rendement du produit et le contrôle des défauts deviennent de plus en plus stricts. Toute l'industrie électronique a des exigences de plus en plus strictes pour la pureté des sources de gaz électroniques et l'élimination de la pollution secondaire dans le système de livraison. Fondamentalement, les indicateurs techniques proposés par l'industrie pour les impuretés de phase de gaz électronique du gaz et la pollution par la taille des particules sont directement liés à la limite de détection minimale (LDL) provoquée par l'avancement de la technologie des instruments analytiques. Par exemple, les testeurs de particules laser traditionnels peuvent mesurer {{0}}. 1 microns, tandis que la technologie de condensation nucléaire (CNC) peut atteindre 0,01 microns. À l'heure actuelle, la largeur de ligne de 12- pouces de fabrication de circuits intégrés à l'échelle ultra-large s'est développée à 45 nanomètres. La pureté des gaz en vrac doit être au niveau du PPT, et le contrôle de la taille des particules pointe directement vers la limite inférieure des instruments analytiques CNC. Les indicateurs techniques des diodes émettrices par la luminosité (LED) du laboratoire ont atteint plus de 200 lm / w (lumens / watt), et les exigences de contrôle de la pureté pour l'hydrogène et l'ammoniac sont également inférieures à 1 ppb (parties par milliard). L'ammoniac est produit par distillation en plusieurs étapes, et les indicateurs techniques atteignent 7n (7 9 s) "Ammoniac blanc". L'hydrogène 5N doit être purifié à 9N à l'aide d'un purificateur de membrane de palladium avancé.
L'application opportune des systèmes de gaz spéciaux en vrac (BSGS) est propice à l'amélioration du contrôle de la pollution. Tout d'abord, les grands conteneurs d'emballage assurent la continuité de la qualité du gaz et réduisent le risque de pollution de plusieurs garnitures. De plus, la réduction de la fréquence des changements de bouteilles réduit également les chances de pollution. Le BSGS utilise principalement une purge profonde, ce qui améliore considérablement l'effet de purge.